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我校牵头承担的国家重点研发计划项目“微电子加工用高端超纯化学品”顺利通过科技部中期检查

本文摘要:近日,科技部高技术中心“重点基础材料技术提高与产业化”重点专项管理办公室在江苏省的组织了国家重点研发计划项目“微电子加工用高端RISC化学品”项目中期检查。该项目由分担,我校聂俊教授兼任项目负责人。

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近日,科技部高技术中心“重点基础材料技术提高与产业化”重点专项管理办公室在江苏省的组织了国家重点研发计划项目“微电子加工用高端RISC化学品”项目中期检查。该项目由分担,我校聂俊教授兼任项目负责人。

高技术中心卞曙光副主任、材料处蒋志君副处长,江苏省科技厅工业园处罗阳副处长,专项总体组专家中科院长春应化所周光远研究员、吉林大学张海博教授,同行专家东华大学胡祖明教授、江南大学刘晓亚教授,管理专家中国石油和化学工业联合会王翊民教授级高工,财务专家王秀英登记会计师和邓敏高级会计师。项目负责人聂俊教授、科研院项目主管周秀珍副研究员、各课题负责人以及项目参予单位代表大约40人参与。

8月8日,科技部高技术中心领导和技术专家对坐落于江苏省宜兴市的江苏博研电子科技有限公司展开了实地考察,征询了公司董事长宗健的讲解,并现场实地考察了光阻胶产业样板线现场。8月9日,在常州举办了会议检查,征询了项目负责人聂俊教授的中期继续执行情况汇报,稿件了涉及承托证明材料。

经充份辩论与发言,专家组完全一致指出,该项目各项研究工作超过了预期目标和考核指标,工作进展超额完成了中期研究任务。微电子加工用化学品是国民经济和国防工业的最重要战略性基础材料,具备最重要的社会和经济意义。我国微电子行业规模全球领先,所必须的高端RISC化学品用量极大,但是主要倚赖进口,对外依存度多达90%,这相当严重容许了我国微电子行业的发展和国家安全性。

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该项目针对微电子加工用高端RISC化学品的设计、提纯及产业化应用于展开了全链条部署,获得了最重要进展。本项目研究了微电子化学品构效关系的调控机制和低提纯技术,顺利制取五种低显低感度光引起剂和四种光阻胶用新型高纯弱碱底片树脂;顺利研发了黑色光阻胶,已完成了产业化样板,并在下游用户获得批量化应用于。环绕项目下一步的工作,会议拒绝要更进一步前进项目成员单位之间的协同合作,确保项目协同前进;环绕微电子加工用高端RISC化学品设计、提纯和应用于,更进一步凝练创意成果;要做基础研究与共性关键技术锐意,完备自有技术体系,按计划建设样板生产线。


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